【摘 要】
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3.3可调谐红外滤光片作为最后一个实例,为了说明近期技术在红外成象仪中的应用,介绍一个用LIGA技术实现的可调谐红外滤光片。LIGA取自德文缩写(Lithographie、Gal-vanoformu
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3.3可调谐红外滤光片作为最后一个实例,为了说明近期技术在红外成象仪中的应用,介绍一个用LIGA技术实现的可调谐红外滤光片。LIGA取自德文缩写(Lithographie、Gal-vanoformung、Abformung),它表示应用X-射线石印术、镍电镀术和丙烯酸模塑法制备微电机系统(MIEMS)。LIGA技术能够制备具有甚高纵横比和优良边缘锐度的
3.3 Tunable IR Filter As a final example, to illustrate the recent application of technology in infrared imagers, a tunable IR filter implemented with LIGA technology is introduced. LIGA is taken from Lithographie, Gal-vanoformung, Abformung, which states that micro-electromechanical systems (MIEMS) are prepared using X-ray lithography, nickel electroplating, and acrylic molding. LIGA technology is capable of producing glasses with very high aspect ratio and excellent edge sharpness
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