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<正> 离子束蚀刻是一种有超精细加工能力的微细加工技术,广泛应用于微电子、光子技术、表面科学等领域。硅及其化合物常用来制作大规模集成电路,在其表面蚀刻出具有一定几何布图尺寸的沟槽。其深度、宽度、边壁倾角及槽底形状等直接影响器件的性能。
半导体单晶硅的离子束蚀刻实验研究
【摘 要】
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<正> 离子束蚀刻是一种有超精细加工能力的微细加工技术,广泛应用于微电子、光子技术、表面科学等领域。硅及其化合物常用来制作大规模集成电路,在其表面蚀刻出具有一定几何
【机 构】
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陕西师大物理系
【出 处】
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陕西师大学报：自然科学版
【发表日期】
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1992年4期
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