【摘 要】
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本文分析了用激光干涉法,使用光杠杆的测微原理,这种测微原理具有精度高、测量快、实时显示的特点,对检测高乎整度器件有广泛的应用。
In this paper, the principle of mic
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本文分析了用激光干涉法,使用光杠杆的测微原理,这种测微原理具有精度高、测量快、实时显示的特点,对检测高乎整度器件有广泛的应用。
In this paper, the principle of micrometric measurement using laser interferometry and optical levers is analyzed. This micrometer principle has the characteristics of high precision, fast measurement and real-time display. It is widely used in the detection of high-precision devices.
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