【摘 要】
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我国低温等离子体科学技术的发展大体上与国际发展的趋势相近．６０年代是以航天应用为推动力，７０年代开始了热等离子体的工业应用研究，８０年代发展极为迅速，尤其是冷等离子体方面．我国的低温
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我国低温等离子体科学技术的发展大体上与国际发展的趋势相近．６０年代是以航天应用为推动力，７０年代开始了热等离子体的工业应用研究，８０年代发展极为迅速，尤其是冷等离子体方面．我国的低温等离子体工作开展面很广，研究单位很多，在国际上也有一定影响．较强的领域是在航天应用，数值模拟工作，超细粉合成，各类簿膜的沉积、聚合等方面．较弱的领域是在化工冶金应用与微电子学应用方面，而且深入细致的机理研究与相应的诊断工作也较少．
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