论文部分内容阅读
本文对知名的集成电路工艺模拟软件SSUPREM4进行了较仔细的校验,用SSUPREM4模拟了氧化、扩散工艺,并同实验值进行了比较,模拟值和实验值的偏差在10%以内,与集成电路器件模拟软件S-PISCES联用校验了SSUPREM4的全工序模拟结果,校验结果有较大参考价值.
集成电路工艺模拟软件SSUPREM4的校验
【摘 要】
：
本文对知名的集成电路工艺模拟软件SSUPREM4进行了较仔细的校验,用SSUPREM4模拟了氧化、扩散工艺,并同实验值进行了比较,模拟值和实验值的偏差在10%以内,与集成电路器件模拟
【机 构】
：
复旦大学电子工程系,上海,200433上海先进半导体制造有限公司,上海,200233;
【出 处】
：
电子学报
【发表日期】
：
1999年8期
其他文献
小组合作探究可以集思广益,把学生的主动性、积极性调动起来,把学习课题切成若干“块”分给小组或其成员后再“拼接合拢”的做法,使得每个小组成员既要对自己负责的任务全力
随着三维模型数量的迅速增加，三维模型语义检索技术研究的重要性日益凸显。针对大规模三维模型数据库语义检索需求，本文提出了一种新的三维模型自动语义标注方法，剖析了三维模型
本研究以湖北省潜江市A区的中心小学三至五年级共六个班级的小学生为研究对象，通过调查他们知觉的班级环境得分，测量他们的孤独感得分以分析小学留守儿童的孤独感与他们知觉的
品德与社会是一门活动性极强的课程,这种性质决定了它不受时间、地点、形式、内容所约束,提高教学质量的方法也应该百花齐放。教师应该在丰富多彩的活动中培养学生良好的道德
提高教学质量是中小学校的核心任务，当前中小学校在提高教学质量的过程中“重管理轻领导”的现象，使学校教学质量改进方向不明确，方法不科学，提高教学质量的历程困难重重。本研究
本文主要包括引言、研究综述、研究方法、研究讨论、研究总结等几个部分。按照国际公认标准,一个国家或地区把老年人数作为分子,把人口总数作为分母,得到一个数字,65周岁以上
学位