【摘 要】
：
本文从物理光学的衍射理论出发,系统地研究了降低衍射效应的接近光刻原理,并解出降低衍射效应的光学系统的结构参数.刻线宽度2α;波长λ;分离量z及照明角θ之间的关系曲线已
论文部分内容阅读
本文从物理光学的衍射理论出发,系统地研究了降低衍射效应的接近光刻原理,并解出降低衍射效应的光学系统的结构参数.刻线宽度2α;波长λ;分离量z及照明角θ之间的关系曲线已给出,并通过大量地工艺实验所证实.到目前为止,接近光刻技术已得到广泛地应用.
Based on the theory of the physical optics, this paper systematically studied the principle of lithography to reduce the diffraction effect and solved the structural parameters of the optical system with reduced diffraction effect. The scribing width 2α, the wavelength λ, the separation amount z and the illumination angle θ The relationship between the curves has been given, and confirmed by a large number of process experiments so far, proximity lithography has been widely used.
其他文献
一、引言短耦合腔半导体激光器是在长距离、大容量光纤通信中很有应用前景的动态单纵模光源。通常,短耦合腔激光器由一个激光二极管(LD)和一个长度小于激光二极管光学长度的
暗淡了刀光剑影,远去了鼓角铮鸣。眼前飞扬着一个个鲜活的面容。岁月啊,你带不走那一串串熟悉的姓名。历史上,很多的成功者如刘邦又如曹操,被人称为英雄乃至枭雄。但仍有一些
建造在日本广岛县的阿品土谷医院是一所以机能恢复和疗养为主的医院,座落在面对濑户内海的山坡上。它充分利用地形,由高差2米的A栋和B栋两个楼组成。A栋为3层,B栋为2层。A栋
西方哲学史上有一个著名的故事:在剑桥大学,维特根斯坦是大哲学家穆尔的学生。有一天,大哲学家罗素问穆尔:“谁是你最好的学生?”穆尔毫不犹豫地回答:“维特根斯坦。”“为什
记者:上海大宗农产品市场提出了“中国第一农产品网上市场”的概念,如何描述这种现代农业的模式?费建:我们将“电子商务、特许经营和创业就业”等信息时代的元素融入现代农业
银企对账工作对银行和在银行开立结算账户的单位来说,都是非常重要的工作。银行与开户单位之间通过核对账务,可以及时发现记账错误,便于及时查找问题,防范和化解可能存在的
本刊讯继上海浦东新区、天津滨海新区、郑州郑东新区之后,国务院正式批准的中国第四个新区——沈阳沈北新区,日前举行成立揭牌仪式。据悉,沈北新区的发展目标是城市化,也就是
对第五届世界科技工业园大会和当今工业园投资与环境、工业园的功能和作用，工业园的模式和特征以及科技工业园的产生和发展等四个主要方面作了介绍，对我国科技工业园的健康发展
屋顶花园是一种特殊的园林形式,它是以建筑物顶部平台为依托,进行蓄水、覆土并营造园林景观的一种空间绿化美化形式。防水处理的成败直接影响屋顶花园的使用效果及建筑物的
请下载后查看，本文暂不支持在线获取查看简介。
Please download to view, this article does not support online access to view profile.