用斐索自聚焦光纤干涉仪测微区面形

• 作 者: 孙晓红 明海 白明 张国平 吴云霞 刘旸 梁忠诚 谢建平 束继祖
• 机 构: 中国科技大学物理系!合肥,230026,中国科技大学物理系!合肥,230026,中国科技大学物理系!合肥,230026,中国科技大学物理系!合肥,230026,中国科技大学物理系!合肥,230026,
• 出 处: 中国激光
• 发表日期: 1999年10期
• 关键词: 斐索 光纤干涉仪 自聚焦 干涉仪测量 光纤传感器 干涉条纹 聚焦透镜 微区 单纵模 待测物体

采用LD泵浦的单纵模Nd：YVO4倍频激光器、自聚焦棒以及三维精密调整架构成斐索型干涉仪，它具有同时测量微区振动和面形的功能，着重给出了测量微区面形的实验结果和理论分析。

The single-longitudinal-mode Nd: YVO4 frequency doubling laser with LD pump, self-focusing rod and three-dimensional precision adjusting frame form Fizeau interferometer. It has the function of measuring micro-area vibration and surface shape at the same time, Surface shape experimental results and theoretical analysis.