【摘 要】
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一、前言探漏的一个主要问题是难以知道真空系统中何时确实存在漏泄。这个问题对于无法用外部渗氦探漏的(复杂或者扩充的)系统更为突出。抽真空后,真空系统中出现氮是该系统
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一、前言探漏的一个主要问题是难以知道真空系统中何时确实存在漏泄。这个问题对于无法用外部渗氦探漏的(复杂或者扩充的)系统更为突出。抽真空后,真空系统中出现氮是该系统存在一处或多处漏泄的可靠标志。虽然目前有若干种测试真空系统中氮的技术(质谱仪、Var-ian 冷阴极放电规),但这些技术往往化费多
I. Preface A major problem with leak detection is the difficulty of knowing when there is indeed a leak in the vacuum system. This issue is more pronounced with (complex or augmented) systems that can not be leaked with external helium. After vacuuming, the presence of nitrogen in the vacuum system is a reliable indicator that the system has one or more leaks. Although there are several techniques for testing nitrogen in vacuum systems (mass spectrometers, Var-ian cold cathode discharge gauges), these techniques tend to cost more
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