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介绍了一种利用非接触式方法实时扫描测量精密元件表面轮廓的技术，同时研究了研制了计算机自动控制的多功能表面轮廓仪，该仪器可对各种超光滑球面及平面进行平移和旋转的实时扫描采样，利用干涉共模抑制技术，有效抑制了各种噪声，测量数据可靠，实时显示表面轮廓参数及轮廓图，仪器横向分辨率为１μｍ，纵向分辨率为０．１ｎｍ。