红外探测器微结构的HREM观察

• 作 者: 刘峥 王瑞忠
• 机 构: 北京有色金属研究总院分析测试技术研究所,清华大学微电子学研究所
• 出 处: 半导体学报
• 发表日期: 1999年9期
• 关键词: 红外探测器 微结构 HREM 实验
• 基金项目: 国家自然科学基金

采用定位横断面制样的高分辨电子显微（ＨＲＥＭ）观察了Ｐ＾＋－Ｓｉ０．６５／Ｐ－Ｓｉ异质结内光发射红外探测器的微结构，该器件光敏区是由３层Ｐ＾＋－Ｓｉ０．６５Ｇｅ０．３５和２层ＵＤ－Ｓｉ（未掺杂硅）组成，Ｓｉ０．６５Ｇｅ０．３５／ＵＤ－Ｓｉ层间界面不明锐，有一个由于Ｇｅ原子不均匀扩散造成的过渡带，这个过渡带缓和界面的失醉心配力，因而未观察到界面晶体缺陷和严重的晶格畸变，耐微孪晶的厚度约为２－４晶面间