【摘 要】
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采用溅射、反应溅射与RF-CVD技术相结合的多功率源沉积了梯度过渡层,在此基础上用RF-CVD法沉积了掺硅类金刚石膜,研究了梯度过渡层对薄膜结构、力学性能及水中摩擦学性能的影
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采用溅射、反应溅射与RF-CVD技术相结合的多功率源沉积了梯度过渡层,在此基础上用RF-CVD法沉积了掺硅类金刚石膜,研究了梯度过渡层对薄膜结构、力学性能及水中摩擦学性能的影响.结果表明:梯度过渡层的引入可在一定程度上提高薄膜的sp3成分含量、硬度和杨氏模量,对增强膜基结合力,提高薄膜在水中的抗剥落性能有较显著的效果.
The gradient transition layer was deposited by multi-power source combining sputtering, reactive sputtering and RF-CVD. On the basis of this, a diamond-doped diamond-like carbon film was deposited by RF-CVD. The effect of gradient layer on the structure, Mechanical properties and tribological properties in water.The results show that the introduction of gradient layer can improve the sp3 content, hardness and Young’s modulus of the film to a certain extent, Peeling performance has more significant effect.
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