【摘 要】
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本文从热扩散方程出发,得到了互连温度时间—空间分布的解析表达式。考虑互连温度对互连电阻和Elmore延时的影响,同时提出了一种用以分析互连时间—空间温度分布效应对互连延
【机 构】
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西安电子科技大学微电子所宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室,
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本文从热扩散方程出发,得到了互连温度时间—空间分布的解析表达式。考虑互连温度对互连电阻和Elmore延时的影响,同时提出了一种用以分析互连时间—空间温度分布效应对互连延时影响的等效内阻模型。基于所提出的模型,详细地分析了互连长度、输入信号频率和功率对互连延时的影响。所提出的互连温度分布和延时解析模型可以应用于深亚微米温度相关的互连性能分析中。
Based on the thermal diffusion equation, the analytical expression of the time-space distribution of interconnection temperature is obtained. Considering the effect of interconnect temperature on interconnect resistance and Elmore delay, an equivalent internal resistance model for analyzing the effect of interconnect time-space temperature distribution on interconnect delay is proposed. Based on the proposed model, the effects of interconnect length, input signal frequency and power on interconnect delay are analyzed in detail. The proposed interconnection temperature distribution and delay analysis model can be applied to deep sub-micron temperature-dependent interconnection performance analysis.
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