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采用溶胶－凝胶方法在单昌Ｓｉ基片上制轩了ＴｉＯ－ＳｉＯ２复合薄膜，研究了溶剂、Ｐ至先体溶液成胶时间的作用，溶液的浓度，甩胶时的旋转速度、涂支数以及热处理温度对薄膜厚度，光学性能的影响。薄膜的折射率随温度增大，其主要贡献来自于薄膜中结构的变化，并测量了薄膜的Ｉ－Ｖ、Ｖ－ｆ特性由于薄膜中的热击穿效应而使得ＴｉＯ２含量较高的薄膜２的Ｉ－Ｖ呈非线性变化。