【摘 要】
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研制了一种低成本、高精度的双层精密弹性微动工作台及其闭环控制系统，并对其精度进行了分析。试验结果表明其分辨力优于０．１μｍ，定位精度优于±０．５μｍ，可作为一般微机械系统中的精密工作
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研制了一种低成本、高精度的双层精密弹性微动工作台及其闭环控制系统，并对其精度进行了分析。试验结果表明其分辨力优于０．１μｍ，定位精度优于±０．５μｍ，可作为一般微机械系统中的精密工作台。
A low-cost, high-precision double-layer precision micro-motion table and its closed-loop control system are developed. The precision is analyzed. The test results show that the resolution is better than 0.1μm, the positioning accuracy is better than ± 0.5μm, which can be used as the precision workbench in general micromachining system.
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