【摘 要】
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为了满足精密零部件和电子元件在装配、生产过程中对室内空气洁净度的要求,从1976年起,七机部七院和北京市西城区半导体材料厂共同试制了几种型式的装配式水平层流(平行流)
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为了满足精密零部件和电子元件在装配、生产过程中对室内空气洁净度的要求,从1976年起,七机部七院和北京市西城区半导体材料厂共同试制了几种型式的装配式水平层流(平行流)洁净室,现将JS77-1型洁净室简介如下。一、结构及空气净化原理洁净室采用木结构,并由915×2500×42(宽×高×厚)毫米的保温壁板、2840×915×52(长×宽×厚)毫米的顶板、夹层顶板、地板、回风墙、净化单元和空调机组
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