无油真空系统的探讨

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在具有腐蚀和清洁的环境下,广泛使用油旋转泵存在某些缺点。在腐蚀环境中的各 种应用,腐蚀性蒸汽或磨损粒子会污染泵的润滑剂,缩短了泵的使用寿命,而在清洁环 境中的应用,润滑剂又反过来污染真空工艺过程。为了克服这些问题,开发了无油真空 系统。 本文对爪型泵同罗茨泵和叶片泵进行比较,表明爪型泵是无油系统的理想抽气设备。 There are certain disadvantages of widespread use of oil rotary pumps in corrosive and clean environments. In a variety of applications in corrosive environments, corrosive vapors or abrasive particles contaminate the pump lubricant and shorten the life of the pump, which, in use in a clean environment, in turn contaminates the vacuum process. In order to overcome these problems, an oil-free vacuum system was developed. In this paper, compared with Roots pump and vane pump, the claw pump shows that the claw pump is the ideal pumping equipment for oil-free system.
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