【摘 要】
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长春光学精密机械与物理研究所微系统部的科研人员成功地研制出微电子机械微操作系统.该项成果已通过分院级鉴定.专家认为:该微操作系统达到了国际先进水平,其中测量微夹力的
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长春光学精密机械与物理研究所微系统部的科研人员成功地研制出微电子机械微操作系统.该项成果已通过分院级鉴定.专家认为:该微操作系统达到了国际先进水平,其中测量微夹力的微夹钳具有国际领先水平.
Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Microsystems Department of Microelectronics researchers successfully developed a micro-electro-mechanical micro-operation system.The results have passed the branch-level identification.Experts believe that: the micro-operating system has reached the international advanced level, in which the measurement of micro Clamping micro-clamp with the international advanced level.
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