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本文结合激活过程中光电流变化规律和成功激活后阴极表面模型,研究了NEA GaN和GaAs光电阴极激活机理的异同。实验表明:NEAGaN激活过程中光电流不象GaAs那样按近似指数规律的包络慢速循环上升,而是在约1min之内就可达到峰值,Cs/O激活时引入0后光电流的增长幅度不大,NEA特性仅在Cs激活时即可获得。GaAs光电阴极激活过程中O的引入是获得NEA特性的必要条件,也是真空能级下降的重要转折点,0引入后光电流幅值有较大幅度的增长。采用双偶极层模型可以解释GaN和GaAs光电阴极Cs/O激活后表面势垒