光互连模块中偶数大点阵64×64位相计算全息光栅的简化设计和分析

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采用简化的综合设计方法,对偶数大点阵位相计算全息光栅进行了优化设计和分析,实验上研制出用于光互连模块的64×64大点阵位相计算全息光栅分束器,优化设计一维衍射效率为80.1%,光强不均匀性小于0.3%。 A simplified and comprehensive design method is used to optimize the design and analysis of the even-numbered large-dot phase-calculating holographic grating. The experimental design of the 64 × 64 lattice-based holographic grating beamsplitter for the optical interconnection module has been developed. The optimal design One-dimensional diffraction efficiency is 80.1%, light intensity non-uniformity is less than 0.3%.
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