【摘 要】
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中/MEMS企业创新所面临的产品中试困境,制约了我国MEMS产业的发展。日前,中国-新加坡苏州工业园区举办了一场具有特别意义的MEMS传感器产品交付会,苏州纳米科技发展有限公司
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中/MEMS企业创新所面临的产品中试困境,制约了我国MEMS产业的发展。日前,中国-新加坡苏州工业园区举办了一场具有特别意义的MEMS传感器产品交付会,苏州纳米科技发展有限公司将6英寸微纳机电制造(MEMS)中试线的首个产品正式交付客户。这也意味着国内首条全开放、市场化运作的6英寸微纳机电制造(MEMS)中试线正
In the medium / MEMS enterprise innovation facing the product testing difficulties, restricted the development of China’s MEMS industry. Recently, China-Singapore Suzhou Industrial Park organized a special MEMS sensor product delivery. Suzhou Nano Technology Development Co., Ltd. formally delivered the first product of a 6-inch micro / nano MEMS pilot line. This also means that China’s first fully open, market-oriented 6-inch micro-nano mechanical and electrical manufacturing (MEMS) pilot line
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