【摘 要】
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在论述磁控溅射制备的掺钛氧化锌薄膜研究意义的基础上,介绍了目前国内外有关采用磁控溅射制备的掺钛氧化锌薄膜的研究现状,并展望了掺钛氧化锌薄膜的未来研究方向。
Based
【机 构】
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广西大学物理科学与技术学院,广西大学行健文理学院,
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在论述磁控溅射制备的掺钛氧化锌薄膜研究意义的基础上,介绍了目前国内外有关采用磁控溅射制备的掺钛氧化锌薄膜的研究现状,并展望了掺钛氧化锌薄膜的未来研究方向。
Based on the research significance of magnetron sputtering doped titanium oxide film, the research status of doped titanium oxide doped zinc oxide film prepared by magnetron sputtering at home and abroad are introduced. Future research direction.
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