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以正硅酸乙酯为前驱体，氨水、盐酸为催化剂，通过溶胶．凝胶法制备了二氧化硅薄膜。采用提拉法将该二氧化硅薄膜镀在用于太阳能电池组件的低铁玻璃基底上。对薄膜进行了表面处理，薄膜疏水性大大提高，与水的接触角由40°提高到了110°。设计并制备了大面积的样品，400nm到800nm的平均透过率增加了5％以上。疏水性和耐刮擦性能达到工业化生产的需要。