【摘 要】
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一、引言钠正离子和钾正离子在二次离子质谱图中是经常出现的两种元素谱峰。就这一现象,我们对各种样品施以不同的处理工艺后,通过大量的测试,确认它们如同俄歇电子谱检测中
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一、引言钠正离子和钾正离子在二次离子质谱图中是经常出现的两种元素谱峰。就这一现象,我们对各种样品施以不同的处理工艺后,通过大量的测试,确认它们如同俄歇电子谱检测中总有碳和氧的污染一样,是样品表面和体内的污染与杂质。钠和钾的污染要比碳和氧难去除得多,危险也很大,尤其在半导体工艺中更为突出。人
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