多弧离子镀(Ti,Cr)N膜层工艺及性能

来源 :机械工程材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xuxu517

【摘要】

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用多弧离子镀膜机,以W6Mo5Cr4V2高速钢为基体材料,镀覆(Ti,Cr)N多元膜,研究了多弧离子镀工艺对膜层性能的影响,确定了最佳镀膜工艺参数,探讨了多元膜层的强化机理.结果表明:

【作者】

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刘清平曲敬信潘国顺

【机构】

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中国农业大学车辆工程学院,中国矿业大学机电工程系,清华大学摩擦学国家重点实验室

【出处】

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机械工程材料

【发表日期】

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2002年3期

【关键词】

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多弧离子镀 (Ti Cr)N多元膜层工艺与性能

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用多弧离子镀膜机,以W6Mo5Cr4V2高速钢为基体材料,镀覆(Ti,Cr)N多元膜,研究了多弧离子镀工艺对膜层性能的影响,确定了最佳镀膜工艺参数,探讨了多元膜层的强化机理.结果表明:膜层硬度及膜基结合力随偏压的增大而增大,膜层硬度随氮分压的升高而增大,孔隙率随氮分压的升高而增大.(Ti,Cr)N多元膜层强化机理主要是:晶粒细化、固溶强化、多元素优化.

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