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多孔硅作为一种新型材料，利用其疏松多孔的特性及与IC加工的兼容性，将其用于硅微质子交换膜燃料电池的研究中，作为其电极扩散层，对多孔硅膜的性能、制备工艺及多孔硅膜表面金属淀积工艺进行了研究，提出一套基于MEMS加工技术和薄膜淀积技术的制作硅微质子交换膜燃料电池的工艺。
多孔硅技术在硅基微型燃料电池中的应用
【摘 要】
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多孔硅作为一种新型材料，利用其疏松多孔的特性及与IC加工的兼容性，将其用于硅微质子交换膜燃料电池的研究中，作为其电极扩散层，对多孔硅膜的性能、制备工艺及多孔硅膜表面金属淀
【机 构】
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清华大学微电子学研究所
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2003年B05期
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