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气相色谱-裂解炉联用分析硅氨烷高温裂解逸出气体
气相色谱-裂解炉联用分析硅氨烷高温裂解逸出气体
来源 :分析化学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:LargeSSky
【摘 要】
:
以气相色谱与高温裂解炉联用,对用于制备Si—C—N微粉的前体[SiCxNyHz]n在Ar气条件下高温裂解过程中所逸出的CH4、H2气体进行了分析。讨论了前体在Ar气体中裂解时逸出气体浓度的变化和裂解时间、裂解温
【作 者】
:
盘毅
谢凯
安立华
张长瑞
陈一民
【机 构】
:
国防科技大学材料工程与应用化学系!长沙410073,国防科技大学材料工程与应用化学系!长沙410073,国防科技大学材料工程与应用化学系!长沙410073,国防科技大学材料工程与应用化学系!长沙410
【出 处】
:
分析化学
【发表日期】
:
1997年12期
【关键词】
:
气相色谱
高温裂解
游离碳
联用分析
裂解温度
热化学气相沉积
气化温度
炉膛尺寸
最佳测试条件
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以气相色谱与高温裂解炉联用,对用于制备Si—C—N微粉的前体[SiCxNyHz]n在Ar气条件下高温裂解过程中所逸出的CH4、H2气体进行了分析。讨论了前体在Ar气体中裂解时逸出气体浓度的变化和裂解时间、裂解温度对所逸出气体的影响以及Si—C—N微粉中游离碳的影响。
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