【摘 要】
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薄膜应变测量技术,依靠其有根据的完善的制造工艺,提供了制造低成本,高容量的元件的可能性,因此,正逐步地被传感器制造者接受。本文介绍的已完成设计的具体装置满足了作为稳
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薄膜应变测量技术,依靠其有根据的完善的制造工艺,提供了制造低成本,高容量的元件的可能性,因此,正逐步地被传感器制造者接受。本文介绍的已完成设计的具体装置满足了作为稳定而耐用的传感器元件的必要条件,也就是,具有通常是主要与数字信号处理系统联用的通用技术规格。1.薄膜应变计近二十年来,金属和半导体薄膜的应变灵敏特性是很多研究课题的内容,这项工作的大部分内容是为了薄金属箔应变计传感器的生产。薄膜应变测
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