【摘 要】
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使用射频溅射法制作了Ｇａ２Ｏ３薄膜并对其氧敏特性和温度特性进进了测试和研究，结果表明薄膜电阻与环境气氛中的氧分压的１／４次方成比例而与温度呈指数律关系。使用单电离氧空位模型成功地
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使用射频溅射法制作了Ｇａ２Ｏ３薄膜并对其氧敏特性和温度特性进进了测试和研究，结果表明薄膜电阻与环境气氛中的氧分压的１／４次方成比例而与温度呈指数律关系。使用单电离氧空位模型成功地解决了实验结果。
Ga2O3 thin films were fabricated by radio frequency sputtering and their oxygen sensitivity and temperature characteristics were tested and studied. The results show that the sheet resistance is proportional to the fourth power of the oxygen partial pressure in the ambient atmosphere and is exponential to the temperature Law relationship. The single ionization oxygen vacancy model successfully solved the experimental results.
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