Vertical－cavity　Surface－emitting　Lasers　Fabricated　Twice　by　Implantation　Using　TungstenWireasMaskand

来源 :Chinese Journal of Lasers | 被引量 : 0次 | 上传用户：gb1107

【摘要】

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Ｖｅｒｔｉｃａｌ－ｃａｖｉｔｙＳｕｒｆａｃｅ－ｅｍｉｔｔｉｎｇＬａｓｅｒｓＦａｂｒｉｃａｔｅｄＴｗｉｃｅｂｙＩｍｐｌａｎｔａｔｉｏｎＵｓｉｎｇＴｕｎｇｓｔｅｎＷｉｒｅａｓＭａｓｋａｎｄＺｉｎｃＤｉｆｆｕｓｉｏｎ￥ＪＩＡＮＧＸｉｕｙｉｎｇ；ＤＵＧｕｏｔ... Vertical-cavitySurface-emittingLasersFabricatedTwicebyImplantationUsingTungstenWireasMaskandZincDiffusion ¥ JIANGXiuying; DUG

【出处】

：

Chinese Journal of Lasers

【发表日期】

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1994年01期

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