【摘 要】
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八十年代中后期以来,由于电子陶瓷管的耐高温、抗形变、纯度高、污染小等优点,在日本已被用来做掺杂扩散,从而取代了传统的石英玻璃管。电子陶瓷管的规格尺寸及材质参数分别
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八十年代中后期以来,由于电子陶瓷管的耐高温、抗形变、纯度高、污染小等优点,在日本已被用来做掺杂扩散,从而取代了传统的石英玻璃管。电子陶瓷管的规格尺寸及材质参数分别见表1、2。
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