【摘 要】
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分子束外延不再仅是研究工具,它已日益被用来生产Ⅲ—Ⅴ外延层。MBE系统的用户正寻求增加可靠性、生产量和重复性。
Molecular beam epitaxy is no longer just a research
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分子束外延不再仅是研究工具,它已日益被用来生产Ⅲ—Ⅴ外延层。MBE系统的用户正寻求增加可靠性、生产量和重复性。
Molecular beam epitaxy is no longer just a research tool; it has increasingly been used to produce III-V epitaxial layers. Users of MBE systems are seeking increased reliability, throughput and repeatability.
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