【摘 要】
：
本文系统地评述了几种SOI 技术及其研究进展。从材料、器件、VLSI 系统结构与设计、可靠性和应用等方面讨论了SOI 技术的潜力和存在的主要问题,并与体硅技术进行了比较。
Th
【机 构】
：
南京工学院电子工程系,南京工学院电子工程系
论文部分内容阅读
本文系统地评述了几种SOI 技术及其研究进展。从材料、器件、VLSI 系统结构与设计、可靠性和应用等方面讨论了SOI 技术的潜力和存在的主要问题,并与体硅技术进行了比较。
This article systematically reviews several SOI technologies and their research progress. The potential and existing problems of SOI technology are discussed from the aspects of materials, devices, VLSI system structure and design, reliability and application, and compared with bulk silicon technology.
其他文献
本文主要评述InGaAsp/InP集成光电子器件的几种结构设计和制造工艺以及典型结果。
This article reviews several of InGaAsp / InP integrated optoelectronic device stru
塘东基地基坑是一个采用框架逆作法施工超大型深基坑,周边环境保护要求较高。基于工程特点,在基坑开挖期间进行了较为系统的监测,监测内容包括围护桩的侧移,桩后土体侧移,围
关键词解读2016年11月,教育部等九部门印发《关于防治中小学生欺凌和暴力的指导意见》。《意见》指出:要积极预防学生欺凌和暴力;依法依规处置学生欺凌和暴力事件,保护遭受欺
We report the fast lateral photovoltaic effect in pure congruent LiNbO3 crystal induced by pulsed laser and continuous wave laser with wavelengths of 355,532,an
本文着重从单模光纤、保偏光纤、相干光传输和光波分复用等方而叙述了光纤通信扩容技术。并对影响光纤通信的传输距离和色散问题也作了分析。
This article focuses on sing
目的探讨金龙胶囊配合放射治疗中晚期食管癌的近期疗效。方法232例中晚期食管癌随机分为金龙胶囊配合放疗组与单放组。放射治疗采用60Coγ射线常规照射,DT60～70Gy;金龙胶囊在
电子商务作为一种新兴的贸易活动在全球范围内迅速发展起来,它改变了社会的经济形态,人们的生活和工作方式,成为人类社会发展的一个里程碑。电子商务对传统的经济带来巨大的
本文在阐述目前随机逻辑电路交流参数测试较为薄弱、进行动态功能检测较为重要的基础上,介绍了一种新的集成电路测试图形——伪随机码及其在集成电路动态功能测试中的应用.
本文将叙述两种离子注入系统,它们使用静电加速器产生MeV离子束来进行圆片的生产处理。一种系统使用额定端电压为1MV的串级加速器产生750keV到3MeV的离子束。另一系统使用具