【摘 要】
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多介质微小流量气体流量标准采用pVTt法复合临界流喷嘴法原理,介绍了装置技术指标,pVTt法及临界流喷嘴法原理的工作过程。分析比较常用真空泵类型及特点,详细推断了pVTt法及
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多介质微小流量气体流量标准采用pVTt法复合临界流喷嘴法原理,介绍了装置技术指标,pVTt法及临界流喷嘴法原理的工作过程。分析比较常用真空泵类型及特点,详细推断了pVTt法及临界流喷嘴法动力系统设计方法。
Multi-media micro-flow gas flow standards using pVTt composite critical flow nozzle principle, introduced the device technical indicators, pVTt method and the critical flow nozzle principle of the working process. Analysis and comparison of commonly used vacuum pump types and characteristics, inferred the pVTt method and the critical flow nozzle method of dynamic system design.
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