【摘 要】
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中国科学院上海微系统与资讯技术研究所上海新傲科技有限公司设立了中国首家商业化绝缘硅(SOI)晶圆厂。该晶圆厂具备年产3万片SOI晶圆的生产能力,其主要客户来自国外,但本地
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中国科学院上海微系统与资讯技术研究所上海新傲科技有限公司设立了中国首家商业化绝缘硅(SOI)晶圆厂。该晶圆厂具备年产3万片SOI晶圆的生产能力,其主要客户来自国外,但本地的需求正在迅速成长中。上海新傲曾于2002年向美国Ibis Technology公司订购离子注入机和其它元件,其晶圆采用Ibis公司的SIMOX技术。
Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences Shanghai New Ao Technology Co., Ltd. has set up China’s first silicon wafer factory for commercialization of silicon-on-insulator (SOI). The fab has the capacity to produce 30,000 SOI wafers a year, with its major customers coming from abroad, but local demand is rapidly growing. Shanghai Xinao had ordered ion implanters and other components from Ibis Technology in the United States in 2002 using SIMOX technology from Ibis.
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