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微电子机械系统(MEMS)是一种新兴技术，它几乎影响着每一个科学技术领域，如交通、无线通信、航天、化学以及光波系统。目前许多工业领域期待选用微电子机械系统来解决技术上的问题。简述了微电子机械系统技术的基础概念、所用材料、加工工艺等；并重点综述了该技术在光纤通信系统中的广泛应用。
MEMS技术在光纤通信系统中的应用
【摘 要】
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微电子机械系统(MEMS)是一种新兴技术，它几乎影响着每一个科学技术领域，如交通、无线通信、航天、化学以及光波系统。目前许多工业领域期待选用微电子机械系统来解决技术上的问
【机 构】
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北京城市学院理工学部100083,北京联合大学机械工程学院100083
【出 处】
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现代制造工程
【发表日期】
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2004年12期
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