【摘 要】
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红外电视显微镜以快速、非破坏性检测,观察结果直观可靠等优点应用于半导体器件生产中,为解决半导体材料和器件的质量问题提供了有效分析手段。
Infrared television micro
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红外电视显微镜以快速、非破坏性检测,观察结果直观可靠等优点应用于半导体器件生产中,为解决半导体材料和器件的质量问题提供了有效分析手段。
Infrared television microscope with fast, non-destructive testing, intuitive and reliable observation results used in the production of semiconductor devices, in order to solve the quality problems of semiconductor materials and devices provide an effective analytical tool.
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