【摘 要】
：
随着微电子工业的发展,贵金属浆料的用量日趋加大,然而价格与日俱增。这就迫使人们寻求一种溅金属取代贵金属。近年来Cu金属化的研制工作特别在混合多层微电路方面已取得了惊
论文部分内容阅读
随着微电子工业的发展,贵金属浆料的用量日趋加大,然而价格与日俱增。这就迫使人们寻求一种溅金属取代贵金属。近年来Cu金属化的研制工作特别在混合多层微电路方面已取得了惊人的发展。本文就多层Cu金属化制备工艺,可靠性及工艺中常遇到的问题作了较详细的讨论,同时也评论了未来的发展趋势。
With the development of the microelectronics industry, the amount of precious metal slurry is increasing day by day, however, the price is increasing day by day. This forced people to seek a splash of metal to replace the precious metal. In recent years, the research and development of Cu metallization has made remarkable progress especially in the hybrid multi-layer microcircuit. In this paper, multi-layer Cu metallization preparation process, reliability and process frequently encountered problems were discussed in more detail, but also commented on the future trends.
其他文献
随着2017年全国统一考试大纲的颁布，我们发现大纲对平衡常数的考查加大了难度.化学平衡常数、电离平衡常数、溶度积要求“能进行相关的计算”.人教版高中化学选修四从第二章出现化学平衡常数后，一发不可收拾，第三章依次出现了弱电解质的电离常数、水的离子积常数、盐的水解常数，难溶电解质的溶度积.我们注意到一方面，后四大常数是对前面内容的补充与深化；另一方面，也渗透了化学平衡常数在后面内容中的应用，体现了知识
(一)引言 在连续波大功率环杆型行波管的研制工作中,要解决的最关键问题是提高环杆慢波线的散热性能。解决的办法是改善铜环杆与氧化铍夹持杆之间,夹持杆与管壳之间的热接触
随着射电天文学、雷达技术、空间探测和卫星通讯等的发展,大、中型和多种高效率的小型抛物面天线不断出现,如何精确地测量这些天线的参数,特别是增益,是一个无线电工程尚未
纸介电容器,至今其生产工艺大多数还是沿用过去的工艺,改进不大。因此。从节约能源和提高产品质量的目的出发,有必要对一些具体工艺程序加以探讨和改进。干燥、浸渍、浸渍后
再现《解放》《解放》,是以解放战争为背景的具有史诗品格的大型电视连续剧。《解放》,是我写的序列电视剧《长征》、《延安颂》、《解放》、《开国领袖毛泽东》之第三部。如
婚姻登记机关是指依法履行婚姻登记行政职责的行政机关。按照《婚姻登记条例》的规定,内地居民之间办理婚姻登记的机关是县级人民政府民政部门或者乡镇人民政府,省、自治区、
布尔(Boolean)差分(BD)作为一种有力的故障分析方法,已被F.F.Sellers等人提出。V.Awar等人利用BD给出了一种实用的故障诊断方法,并把它用于译码电路。P.N.Marinos引入偏布尔
一、前言干燥过程具有重要的国民经济意义,在工农业各个部门获得广泛应用,几乎在生产每一件产品时,干燥作业都是最重要的工艺环节之一。随着科学技术的不断发展,工业生产的
高压毫微秒脉冲技术广泛应用于现代科学技术中,如加速器,核爆炸模拟试验等,在电光快门高速摄影机和变象管高速摄影机的控制电路中,它也是不可缺乏的一部分。 利用气体放电的
目的 :准分子激光原位角膜磨镶术 (LASIK)后患者多有干眼症状 ,导致这些变化的机制并不很清楚。本研究的目的是观察和探讨LASIK对泪膜功能的影响。方法 :采用Moria2自动板层