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,Silicon nanowire formed via shallow anisotropic etching Si-ash-trimming for specific DNA and electr
【机 构】
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Institute of Nano Electronic Engineering(INEE), Universiti Malaysia Perlis(UniMAP), 01000 Kangar, Pe
【出 处】
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中国物理B（英文版）
【发表日期】
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2015年6期
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