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用等离子体化学气相淀积法制备的SnO2/Fe2O3多层膜的一些电学特性和气敏特性不同于SnO2单层膜.当SnO2层的沉积时间很短时,多层膜在空气中及在敏感气氛中的电导随沉积时间的增加而下降.多层膜的响应及恢复时间也呈现一些反常的变化.本文提出一个包括过渡层在内的模型用以解释这些现象.过渡层可在沉积过程中产生,存在于SnO2与Fe2O3界面附近,其厚度达30nm数量级.更多还原