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期刊论文
MOS型波导光学特性分析
MOS型波导光学特性分析
来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:pickbaobei
【摘 要】
:
本文分析了MOS型波导中金属包层对波导光学特性的影响,给出了TE模传播常数和吸收损耗系数的近似计算公式.为了消除由金属包层引起的吸收损耗,结合计算实例讨论了氧化物缓冲层
【作 者】
:
马春生
刘式墉
【机 构】
:
吉林大学,吉林大学长春,长春
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
1989年4期
【关键词】
:
集成光学
MOS型光波导
光学特性
Integrated optics
MOS-type waveguide
Propagation constant
A
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本文分析了MOS型波导中金属包层对波导光学特性的影响,给出了TE模传播常数和吸收损耗系数的近似计算公式.为了消除由金属包层引起的吸收损耗,结合计算实例讨论了氧化物缓冲层所需厚度的选择.更多还原
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