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通过观察场发射扫描电子显微镜下纳米Cu颗粒离子溅射镀膜前后纳米尺度的形貌，发现镀膜改变了纳米Cu颗粒的形貌，分析了离子溅射膜的形成过程，探讨了镀膜改变纳米颗粒形貌的原因，指出了观察纳米颗粒形貌时应该注意的问题．
离子溅射镀膜对纳米材料形貌观察的影响
【摘 要】
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通过观察场发射扫描电子显微镜下纳米Cu颗粒离子溅射镀膜前后纳米尺度的形貌，发现镀膜改变了纳米Cu颗粒的形貌，分析了离子溅射膜的形成过程，探讨了镀膜改变纳米颗粒形貌的原因，指
【机 构】
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五邑大学数理系
【出 处】
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五邑大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2009年2期
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