复合膜光学常数的研究

• 作 者: 张怀武 刘三雄
• 机 构: 电子科技大学材料科学与工程系,电子科技大学材料科学与工程系成都610054,成都610054
• 出 处: 电子科技大学学报
• 发表日期: 1992年6期
• 关键词: 复合薄膜 折射率 色散 光学常数 composite films refractive index evaporation deposition composi

在1.33×10~(-3)Pa真空度下,用电子束蒸发法在K_?玻璃上成功地淀积了厚度为1200～1500A的复合光学膜,测量了不同参数下制备的膜折射率的平均值,并从色散方程推导出了折射率随波长变化的理论公式,发现复合膜成份决定其折射率的大小值。真空度和衬底温度对折射率值也有明显的影响。文中也给出部分膜色散系数值。