【摘 要】
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本文研究了具有均匀光强迭加的多色光象光斑测量表面粗糙度的方法。给出了多色光象光斑对比度C 与表面粗糙度参数Ra,Sm 的近似表达式。实现了对Ra,Sm 的非接触、快速测量。对
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本文研究了具有均匀光强迭加的多色光象光斑测量表面粗糙度的方法。给出了多色光象光斑对比度C 与表面粗糙度参数Ra,Sm 的近似表达式。实现了对Ra,Sm 的非接触、快速测量。对磨削、端铣等试件的测量表明,在0.1μm≤Ra≤6.0μm 范围内,理论分析和实验结果是一致的,所测得的Ra 值与轮廓仪测量值相比较误差在15%左右。
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