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运用可压缩粘性流体力学的理论。分析了扩散泵喷咀内部的流动,其结果用于扩散泵返流的计算,与实验结果比较一致。揭示了扩散泵返流的实质,为减少扩散泵返流提供了理论依据。
扩散泵喷咀内附面层的研究
【摘 要】
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运用可压缩粘性流体力学的理论。分析了扩散泵喷咀内部的流动,其结果用于扩散泵返流的计算,与实验结果比较一致。揭示了扩散泵返流的实质,为减少扩散泵返流提供了理论依据。
【机 构】
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合肥工业大学真空教研室,合肥工业大学真空教研室230009,230009,230009
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1992年4期
【基金项目】
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机械工业技术发展基金
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