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探讨了５×１０＾－３Ｐａ真空条件下Ｐｄ在２４０Ｋ低温聚乙醇缩甲醛衬底上气相沉积的特征。由透射电镜（ＴＥＭ）分析发现，在２４０Ｋ的ＰＶＦ衬底上沉积的Ｐｄ膜结构与ＰＶＦ衬底温度为３００Ｋ时沉积的情况很不相同，具有分表网络特征，分形网络是由线度小于２ｎｍ的ｆｃｃ微晶凝聚而成，同时还发现分形结构的小岛及在生长过程中由于俘获竞争机制造成的某些区域内形成核和核生长被抑制的现象。