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螺旋分子泵的原理,性能及其应用

来源 :四川真空 | 被引量 : 0次 | 上传用户：sxhainan

【作 者】

：

杜瓦. 帕 陈文浩 

【出 处】

：

四川真空

【发表日期】

：

1991年1期

【关键词】

：

螺旋分子泵 分子泵 原理 性能 

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