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ECR等离子体CVD技术

来源 :四川真空 | 被引量 : 0次 | 上传用户：leezero555

【作 者】

：

张一鸣 

【出 处】

：

四川真空

【发表日期】

：

1991年2期

【关键词】

：

等离子体 CVD 薄膜 半导体 制备 

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