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用于沉积Co—Cr垂直磁性载声体的平面靶溅射系统

来源 :四川真空 | 被引量 : 0次 | 上传用户：fourstone

【作 者】

：

Nijmu. Y 梁贵华 

【出 处】

：

四川真空

【发表日期】

：

1991年2期

【关键词】

：

CO-CR 薄膜 载声体 沉积 溅射系统 

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