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通过对长波长 PIN+FET 组件的可靠性试验,估算了长波长 PIN+FET组件的平均寿命;对失效样品进行了分析,确定了其主要失效模式,并对优化工艺作了进一步探讨。
长波长PIN＋FET组件的可靠性研究
【摘 要】
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通过对长波长 PIN+FET 组件的可靠性试验,估算了长波长 PIN+FET组件的平均寿命;对失效样品进行了分析,确定了其主要失效模式,并对优化工艺作了进一步探讨。
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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1993年1期
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