【摘 要】
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本文介绍了网格光栅的制造工艺过程。研制成功的网格光栅在光学显微镜、光学投影仪、透射和扫描电子显微镜等检测、校正过程中取得了较好的效果,它将成为显微镜很好的检测标
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本文介绍了网格光栅的制造工艺过程。研制成功的网格光栅在光学显微镜、光学投影仪、透射和扫描电子显微镜等检测、校正过程中取得了较好的效果,它将成为显微镜很好的检测标样。
This article describes the grid grating manufacturing process. The developed grid grating has achieved good results in the detection and correction of optical microscopes, optical projectors, transmission and scanning electron microscopes, etc. It will become a good detection standard for microscopes.
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